微纳加工基础技术与方法

本书系统介绍了各种精密加工方法，将超精密微加工法和表面加工方法的基础原理和技术做了融合。全书共分为十一章，主要介绍了激光束加工方法、电子束加工方法、离子束加工方法、其他粒子束加工方法、化学刻蚀法、放电加工等基本方法；并介绍了精密加工所涉及的主要表面处理技术，包括表面处理沉淀法、离子束表面处理法、溅射法、化学气相沉积法和精密镀等。本书对传统的加工方法进行了精选，去掉了繁冗的细节，保留了必要的理论基础，并增加了微纳加工技术新工艺及其发展趋势。

本书可作为机械制造及其自动化专业的研究生和本科生教材，同时也可供从事机械制造精密加工的工作者和科研人员阅读。

目录

1绪论1

1.1微加工技术的发展进程1

1.2发展现状3

1.3技术内涵3

1.4微纳加工技术4

2激光束加工方法6

2.1激光束加工常用光源6

2.2加工用激光器的种类和光束聚光9

2.3YAG激光加工15

2.4准分子激光加工23

2.5激光应用加工29

3电子束加工34

3.1电子束加工原理34

3.2钻孔36

3.3电子束光刻39

4离子束加工41

4.1离子束加工原理41

4.2离子束装置46

4.3离子注入技术及装置50

4.4特殊形状加工57

5其他粒子束加工方法61

5.1高速原子束加工61

5.2静电加速粒子束加工65

5.3电液束加工66

6化学刻蚀法基础68

6.1化学刻蚀的定义和加工原理68

6.2晶圆刻蚀工艺71

6.3刻蚀技术77

7放电加工的基本方法86

7.1放电加工原理86

7.2电火花线切割加工92

7.3复合加工95

8物理气相沉积98

8.1引言98

8.2物理气相沉积过程及特点99

8.3真空蒸发镀膜100

8.4溅射镀膜102

8.5离子镀膜105

9化学气相沉积111

9.1概述111

9.2化学气相沉积的基本原理113

9.3化学气相沉积法的应用117

9.4物理化学气相沉积法118

10溅射120

10.1溅射覆膜基础120

10.2辉光放电溅射121

10.3溅射分类及机理124

10.4用于覆膜的溅射类型127

11精密镀131

11.1引言131

11.2电镀131

11.3电镀的基本构成134

11.4预处理143

11.5电铸151

11.6涂镀加工154

11.7无电解电镀158

11.8塑料电镀162

11.9陶瓷上的电镀176

11.10复合镀加工180

参考文献184