微系统光学检测技术机械工业出版社正版书籍

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商品基本信息
商品名称：	微系统光学检测技术
作者：	王伯雄
市场价：	95.00
ISBN号：	9787111458371
版次：	1-1
出版日期：	2014-08
页数：
字数：
出版社：	机械工业出版社

目录
译丛序言
译者序
前言
第1章用于MEMS测试的图像处理和计算机视觉
11概述
12任务分类
13图像处理和计算机视觉元件
131光、颜色和滤波器的行为
132照明
133透镜系统
134传感器
14图像数据的处理与分析
141计算机视觉过程
142图像数据预处理和处理方法
143图像数据分析方法
144解决测试任务
15商业与非商业的图像处理和计算机视觉软件
16用于光学计量中条纹图案的图像处理技术
17结论
参考文献
第2章微系统检测用图像的相关技术
21概述
22用数字图像相关(DIC)技术的变形测量法
221数字微图像的互相关算法
222位移和应变场的提取
223确定衍生性质
224功能与限制
225有限元(FE)仿真与DIC方法的结合
23DIC应用中的基本设备
231测量系统元件
232对高分辨率扫描显微镜的要求
233软件工具
24DIC技术在微系统中的应用
241微元件的应变分析
242缺陷检测
243有限元模型验证
244材料性质测量
245微裂纹评估
246基于AFM微图的三维变形分析
247确定微元件中的残余应力
25总结与展望
参考文献
第3章微组件和微结构光散射检查技术
31概述
32光散射的理论背景
33测量装置
34光散射法的标准化
35微元件和微结构检查应用
36光散射技术和轮廓测量技术组合
37结论和展望
参考文献
第4章原子力显微镜表征及测量微元件
41概述
42AFM部件及工作原理
421探针
422扫描器
423控制器
424探测、输入信号、设置点与错误信号
425Z反馈回路
43AFM成像模式
431一次AFM成像模式
432二次AFM成像模式
44AFM非成像模式
45AFM用于微组件检查——案例研究
46原子力轮廓仪(AFP)——AFM和触针轮廓仪的组合
47AFM的补充光学测量技术
48结论与展望
参考文献
第5章MEMS测量用光学轮廓测量技术
51概述
52共焦显微镜术原理
521共焦点传感器
522共焦显微镜
523用共焦显微镜测量
524MEMS测量应用
53显微镜深度扫描条纹投影(DSFP)原理
531概述
532强度模型
533实验实现
54结论
参考文献
第6章微测量用栅格法和莫尔法
61概述
62栅格或光栅制造方法
621光刻胶
622移动点源全息干涉仪
623电子束平版印刷术
624聚焦电子束(FIB)铣削
63微莫尔干涉仪
631原理
632光纤微莫尔干涉仪
633在微电子封装中的应用
634结论
64采用高分辨率显微术的莫尔法
641电子束莫尔法
642AFM莫尔法
643SEM扫描莫尔法
644FIB莫尔法
645TEM莫尔法
646应用
647结论
65显微栅格法
651概述
652采用傅里叶变换法的栅格线图形分析方法
653结合相移法的栅格线图形分析法
654栅格衍射法
655应用
66结论
参考文献
第7章微零件面内位移和应变测量的光栅干涉法
71概述
72光栅干涉法原理
73波导光栅干涉法
731波导光栅干涉仪头的概念
732用于位移矢量测量的改进波导光栅干涉仪
74测量系统
75样品光栅技术
76波导光栅干涉技术的典型应用
761材料常数的确定
762多晶材料分析
763半导体微型激光器矩阵试验
764电子封装
77结论
参考文献
第8章微系统特性的干涉显微检测技术
81概述
82干涉显微镜
821工作原理
822光源
823干涉仪
824光程差调制的干涉显微镜
825波长调制的干涉显微镜
826直接相位调制的干涉显微镜
827光谱分解干涉显微镜
83双光束零差干涉显微镜建模
831单色照明双光束干涉技术
832宽带照明双光束干涉技术
833双光束干涉显微镜
84干涉显微镜静态测量
841单色干涉显微技术检测表面轮廓
842低相干干涉测量表面轮廓
85干涉显微测量技术的性能和问题
851边缘效应
852非均质表面的测量
853膜厚成像
854谱反射率成像
86干涉轮廓仪在MEMS领域的应用
87干涉显微镜动态测量
871概述
872动态条件下的干涉信号
873频闪干涉显微镜振动测量
874时间平均干涉显微技术振动测量
875动态干涉显微技术在MEMS领域的应用
88结论
致谢
参考文献
第9章用激光多普勒测振技术测量运动中的MEMS
91概述
92激光多普勒效应及其干涉检测
921激光多普勒效应
922光探测中的散粒噪声
923干涉检测
924波前像差和激光散斑
93激光多普勒测振技术
931光学装置
932零差和外差检测技术
933信号处理
934数据采集
94全场测振技术
941扫描测振仪
942工作偏差形状
95微观结构的测量
951光学装置
9523D技术
953范围和限制
96分辨力和精度
961噪声限制的分辨力
962激光多普勒测振仪的测量精度和标定
97与其他技术的结合
98实例
981双模式MEMS反射镜
982悬臂梁加速度传感器
99结论与展望
参考文献
第10章一种用于对MEMS和MOEMS离面变形进行静态、准静态和动态
评价的干涉测量平台
101概述
102干涉测量平台的结构和操作原理
103通过“逐点”偏移法对膜进行光机特性描述
1031SiOxNy薄膜的组成和原子密度
1032SiOxNy薄膜的机械特性
1033实验结果
104通过离面微位移干涉测量确定刮抓式驱动执行器(SDA)的机械技术
1041SDA的操作
1042实验结果
105使用带频闪技术的干涉测量法动态评估工作中的微光机电系统器件
1051概述
1052工作薄膜的动态特性
1053扭转微镜的动态特性
106结论与展望
致谢
参考文献
第11章试验电子封装和MEMS的光电子全息术
111概述
112MEMS制造过程概述
113光电子全息术
1131光电子全息显微镜(OEHM)
1132静态模式
1133时间平均模式
114典型应用
1141NIST可溯源量具的试验
1142MEMS加速度计的研究和表征
1143晶片级试验
1144表面安装技术的测量和模拟
115总结
致谢
参考文献
第12章数字全息术及其在MEMS/MOE

内容简介

微系统光学检测技术

国际制造业先进技术译丛微系统光学检测技术［德］伏尔夫岗·奥斯腾主编
王伯雄等译机械工业出版社
微系统的尺度小，材料组合性强，功能多，对它的测量与检测构成了该领域新的挑战。本书内容丰富，覆盖面广，汇聚了各国知名大学共28位作者的卓越成果。书中将检测技术原理与众多应用实例相结合，介绍了微系统检测的应用光学技术，主要提供该领域中典型光学检测技术的全面回顾，包括光散射法、扫描探针显微技术、共焦显微技术、条纹投影技术、栅格和莫尔技术、干涉显微技术、激光多普勒测振技术、全息术、散斑测量术及光谱技术，同时还详述了上述技术相关数据的获取和处理方法。
本书是微纳米检测领域一本不可多得的参考书，适合从事微纳制造、微系统检测的科技人员、高等院校相关研究方向的师生参考使用。
Optical Inspection of Microsystems/by Wolfgang Osten/ISBN:9780849336829
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Authorized translation from English language edition published by CRC Press,part of Taylor & Francis Group LLC；All rights reserved；
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