内容简介
本书通过涉及物理、化学、生物、材料、电子、机械等多门学科，讲述了利用纳米材料结构表现出的独特的力、电、热、光、磁等性能进行新型纳传感器件的研究逐渐成为NEMS研究的一个热点。从纳米材料的新效应和新性质出发，可以实现新功能或突破常规器件的性能极限，实现具有新原理或高性能（如高灵敏度、低功耗、低噪声）的纳米器件和系统。

目录
第1章NEMS传感器制备方法的研究进展
1.1NEMS传感器的敏感元件
1.2NEMS器件加工工艺的研究进展
1.3NEMS器件的电学特性研究进展.
1.4基于一维纳米材料NEMS器件制备方法的研究意义
第2章面向NEMS器件的一维纳米结构流体组装
2.1碳纳米管悬浮液的配制
2.2组装碳纳米管的基片修饰与选择.
2.3流体定向组装碳纳米管.
2.4碳纳米管方向一致性评价
2.5本章小结.
第3章面向NEMS器件的一维纳米结构介电电泳组装
3.1介电电泳组装概述
3.2碳纳米管的介电电泳排列组装
473.3碳纳米管的单层有序多层结构制备.
3.4流体与介电电泳结合排列组装碳纳米管
3.5本章小结
第4章面向NEMS器件的电接触性能研究
4.1电接触的理论分析
4.2碳纳米管金属引线制作方法
4.3金属电极上沉积碳纳米管的接触特性研究
4.4图形化金属包覆碳纳米管的引线接触研究
4.5本章小结
第5章NEMS传感器在空气环境检测中的应用.
5.1NEMS传感器应用于空气环境检测的研究进展
5.2以硅纳米线为敏感元件的NEMS传感器
5.3空气微生物检测系统
5.4病毒H3N2检测
第6章NEMS传感器的应用趋势

作者简介

1980年出生，2008年毕业于清华大学精益系，获博士学位，2008年~2010年在北京大学环境工程系博士后流动站工作。现任北京联合大学机电学院系主任并承担教学和科研工作。科研论文：[1]面向NEMS器件的碳纳米管与金属电极电接触研究，功能材料与器件学报(CSCD)，2012年10月，排名第一[2]流体排布与介电电泳结合排列组装碳纳米管，纳米技术与精密工程(EI)，2010年9月，排名第一[3]Developmentofanautomatedelectrostaticsampler(AES)forbioaerosoldetection,Aerosolscienceandtechnology(SCI),2011年5月,排名第一[4]利用纳米铁水处理的自动控制系统设计.电子测量技术.2013年12月，排名第一[5]Designofsewagetreatmentusingironnanoparticlesbasedonfuzzy.Lecturenotesinelectricalengineering.2013年8月，排名第一[6]Development
ofanovelconductancebasedtechnologyforenvironmentalbacterialsensing,科学通报（SCI）,2013年2月，排名第二[7]Integratingsiliconnanowirefieldeffecttransistor,microfluidicsandairsamplingtechniquesforreal-timemonitoringbiologicalaerosols,Environmentalscienceandtechnology(SCI),2011,排名第二[8]发明专利：一种负压滤膜微生物采样器.2014年5月,排名第一