《半導體製程技術導論(第五版)》

作者：蕭宏

出版社：全華圖書

出版日期：2025/07/07

語言：繁體中文

ISBN：9786264012232

叢書系列：大專電子

規格：平裝 / 832頁 / 19 x 26 x 4.16 cm / 普通級 / 單色印刷

出版地：中國台灣

本書分類：電機資訊類> 電子

（页面信息仅供参考，具体以实物为准）

內容簡介

本書譯自Hong Xiao(蕭宏) 原著「Introduction to Semiconductor Manufacturing Technology」(第三版)(英文書第三版尚未出版)，提供*新的半導體製程相關加工技術之介紹與各種加工原理之說明與應用，是半導體製程實務最為鉅細靡遺的著作。本書適用於大學、科大電子、電機、資工、機械系『半導體工程』、『半導體製程』、『半導體導論』課程使用。

本書特色

1.本書的內容集中在*新的積體電路製程技術(如3D IC技術、EUV微影技術、FinFET等)，同時也兼顧早期的技術以便讀者對積體電路製程技術的歷史發展有更完整的瞭解。

2.書內提供半導體製程相關加工技術之介紹與各種加工原理之說明與應用，使學生熟悉各種加工原理及其應用領域，以作為投入電子工業之基礎訓練課程。

3.此書委實是對半導體製程實務最為鉅細靡遺的著作，作為技術人員的工具書或有興趣了解晶圓廠的教科書，都是適合的寶典。