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《晶圆制造自动化物料运输系统调度》为国家科学技术著作出版基金资助图书，在总结作者多年研究成果的基础之上，系统全面介绍了晶圆制造系统中AMHS建模、AMHS运行特性分析、AMHS调度方法、调度性能评价等内容，有很高的参考价值。

【内容简介】

《晶圆制造自动化物料运输系统调度》针对自动化物料运输系统(AMHS)调度问题大规模、*性、实时性和多目标的特点，在系统、深入地进行AMHS建模方法和运行过程分析的基础上，分别介绍了AMHS中的Interbay系统和Intrabay系统的优化调度方法，介绍了AMHS集成调度和AMHS调度性能评价方法。本书提出的方法和技术将为广大企业、科研院所、高等院校进一步深入研究晶圆制造AMHS调度问题提供理论基础，为推动晶圆制造AMHS调度技术发展和企业实际应用提供参考，对提升我国晶圆制造企业的核心技术竞争力及行业综合实力具有重要意义。