田禾清华大学集成电路学院长聘副教授、集成纳电子科学研究所副所长，国 家 级高层次科技创新领军人才， 高层次青年人才。从事二维材料新型电子器件方面的研究，在Nature、Nature Machine Intelligence等期刊上发表论文200余篇。主持科技部2030重大项目青年科 学 家项目、 自然基金项目、北京市自然基金重点项目等。 任天令，清华大学集成电路学院信息科学技术学院副院长， 杰出青年基金获得者，清华大学环境与健康传感技术研究中心副主任。从事智能微纳电子器件、芯片与系统方面的研究，在Nature、Nature Electronics等期刊上发表论文600余篇。承担 自然科学重点基金、科技部重点研发计划、 重大科技专项、 公益性行业科研专项、 重大仪器专项、 863计划、 973计划等多项 重要科技项目。 ???????????????石墨烯作为低维材料的代表，是近年来学术界研究的热点。石墨烯本征优异的物理特性得到广泛的验证，尤其是在微纳电子器件领域受到青睐。本书以清华大学集成电路学院集成纳电子科学研究所石墨烯研究团队多年的科研成果为基础，汇集 外石墨烯微纳电子器件的新进展，以专业的视角和通俗易懂的语言，系统地对多种形态的石墨烯在微纳电子器件上的应用进行归纳和总结。本书内容主要包括基于石墨烯的二维异质结晶体管、低功耗阻变存储器、声源器件、力学传感器、能量收集器件、发光器件、热整流器以及石墨烯器件片上集成 新方法。　　本书可作为微电子器件和纳米科技方向研究生的入门教材以及关注二维材料领域的研究人员的专业参考书，也适合对低维材料感兴趣的读者阅读参考。 ???????????????第1章　引言　11.1　石墨烯的物理特性　21.1.1　晶格结构及能带　21.1.2　电学特性　31.1.3　力学特性　41.1.4　光学特性　51.1.5　热学特性　61.2　石墨烯的制备方法　81.2.1　机械剥离法　91.2.2　CVD法　101.2.3　化学氧化还原法　121.2.4　碳化硅外延法　131.2.5　激光直写法制备及图形化石墨烯 131.3 石墨烯器件发展总体回顾　141.3.1　石墨烯晶体管　141.3.2　石墨烯存储器　161.3.3　石墨烯传感器和石墨烯执行器　171.4　本章小结　22第2章　石墨烯材料的制备及图形化　242.1　CVD法制备及图形化石墨烯　242.1.1　CVD法在铜基底上制备石墨烯　242.1.2　CVD法在镍基底上制备石墨烯　262.1.3　CVD法直接在 缘基底上生长石墨烯微米条带　262.1.4　采用激光图形化石墨烯　322.2　激光直写法制备及图形化石墨烯　362.3　本章小结　42第3章　基于石墨烯的二维异质结晶体管　443.1　器件的制备及表征　443.1.1　栅控graphene_MoS2异质结晶体管　443.1.2　栅控MoS2_graphene_MoS2异质结晶体管　493.2　理论分析　513.3　二维异质结晶体管 进展　563.3.1　石墨烯与2D材料的异质结　563.3.2　石墨烯与1D材料的异质结　603.3.3　石墨烯与0D材料的异质结　673.4　本章小结　73第4章　基于石墨烯的阻变式存储器　754.1　基于石墨烯的低功耗阻变式存储器　754.1.1　器件结构和工艺　764.1.2　器件表征　774.1.3　电学性能测试结果　814.1.4　机理分析　864.2　基于石墨烯的Fin结构的阻变式存储器　894.2.1　器件结构和工艺　894.2.2　电学性能测试结果　924.2.3　机理分析　954.3　基于石墨烯的存储窗口可调的阻变式存储器　994.3.1　器件结构和工艺　994.3.2　电学性能测试结果　1014.3.3　机理分析　1094.4　基于石墨烯的阻变式存储器 进展　1134.4.1　石墨烯作为阻变式存储器界面层　1134.4.2　石墨烯作为阻变式存储器电极　1184.4.3　石墨烯在仿生突触领域的应用　1234.5　本章小结　127第5章　基于石墨烯的声源器件　1295.1　基于多层石墨烯的声源器件　1305.1.1　理论模型的建立与优化设计　1305.1.2　制备工艺　1355.1.3　声学测试平台　1365.1.4　声学测试结果　1375.2　基于单层石墨烯的声源器件　1435.2.1　基于AAO衬底的单层石墨烯声源器件　1435.2.2　基于PET衬底的单层石墨烯耳机　1465.3　基于rGO的声源器件　1535.3.1　基于rGO纸的声源器件　1535.3.2　基于激光直写法的石墨烯耳机　1575.4　石墨烯声源器件 进展　1635.4.1　石墨烯可穿戴编织器件　1635.4.2　脉冲调制电路驱动热声器件发声　1735.5　本章小结　179第6章　石墨烯人工喉　1816.1　 代人工喉　1816.1.1　器件制备及表征　1826.1.2　人工喉性能测试　1836.1.3　人工喉的实际应用　1896.2　第二代人工喉　1916.2.1　器件制备及表征　1916.2.2　喉部运动机理　1936.2.3　人工喉性能测试　1956.2.4　人工喉的实际应用　1986.3　人工喉 进展　2006.3.1　肌电_力学双通道语音识别　2006.3.2　基于人工喉的多模态语音识别及交互　2066.3.3　其他相关工作　2096.4　本章小结　214第7章　石墨烯力学传感器　2177.1　石墨烯压阻式传感器的主要工作机制　2177.1.1　敏感层几何结构变化　2177.1.2　器件结构导致敏感层传导路径变化　2187.1.3　裂纹引起的传导路径变化　2207.1.4　隧穿效应　2217.2　石墨烯应变传感器　2227.2.1　基于单层石墨烯的应变传感器　2227.2.2　石墨烯纤维应变传感器　2247.2.3　石墨烯电子皮肤　2277.2.4　三维互联结构的应变传感器　2287.2.5　混合结构的应变传感器　2307.3　石墨烯压力传感器　2317.3.1　悬空单层石墨烯压力传感器　2317.3.2　平面结构石墨烯压力传感器　2327.3.3　纸基石墨烯压力传感器　2337.3.4　多孔结构石墨烯压力传感器　2357.3.5　具有微结构的石墨烯压力传感器　2367.4　石墨烯力学传感器应用　2387.5　未来展望　2427.6　本章小结　243第8章　基于石墨烯的能量收集器件　2458.1　石墨烯硅柱阵列太阳能电池　2458.1.1　器件结构及制备工艺　2458.1.2　器件性能测试　2478.1.3　原理分析　2498.2　石墨烯钙钛矿太阳能电池　2508.2.1　器件结构及制备工艺　2518.2.2　器件性能测试　2528.2.3　原理分析　2528.3　石墨烯薄膜湿气发电器件　2538.3.1　器件结构及制备工艺　2538.3.2　器件性能测试　2548.3.3　原理分析　2568.4　石墨烯泡沫湿气发电器件　2578.4.1　器件结构及制备工艺　2578.4.2　器件性能测试　2588.4.3　原理分析　2598.5　基于氧化石墨烯的触控按键及能量收集器　2608.5.1　基于氧化石墨烯的触控按键　2618.5.2　基于氧化石墨烯的能量收集器　2658.6　石墨烯压电效应的发现及应用　2698.6.1　器件制备工艺　2708.6.2　器件测试平台　2718.6.3　测试结果及分析　2728.6.4　理论分析　2758.6.5　能量收集器和压力传感器应用　2768.7　本章小结　278第9章　基于石墨烯的发光器件　2809.1　激光直写波长可调LED　2809.1.1　器件结构及制备工艺　2819.1.2　发光特性测试　2849.1.3　发光原理分析　2899.2　PECVD石墨烯发光器件　2909.2.1　器件结构和制备工艺　2919.2.2　发光特性测试　2929.2.3　发光原理分析　2939.3　石墨烯灯泡　2969.3.1　器件结构与制备工艺　2979.3.2　发光特性测试　2989.3.3　发光原理分析　2999.4　石墨烯随机发光模拟星空　3019.4.1　器件结构和制备工艺　3019.4.2　发光特性测试　3039.4.3　发光机理分析　3059.5　本章小结　306 0章　基于石墨烯的热整流器　30810.1　基于三角形和T形rGO纸的热整流器　30810.1.1　器件结构及表征　30810.1.2　测试方法及结果　31010.1.3　理论分析　31610.2　基于相变材料复合rGO气凝胶的热整流器　31910.2.1　器件结构及表征　31910.2.2　测试方法及结果　32010.2.3　理论分析　32310.3　基于不对称悬浮石墨烯纳米网的热整流器　32410.3.1　器件结构及表征　32510.3.2　测试方法及结果　32610.3.3　理论分析　32710.4　本章小结　329 1章　石墨烯器件片上集成新方法　33111.1　晶圆级石墨烯器件的设计与实现　33111.2　片上集成器件的应用验证　33311.2.1　片上集成的石墨烯面内晶体管　33311.2.2　片上集成的石墨烯光电探测器及阵列　33511.2.3　片上集成的石墨烯扬声器　33911.3　石墨烯器件片上集成 进展　34111.4　本章小结　348参考文献　349