内容介绍

   本书介绍了以机械-化学方法为主要加工手段，在单晶硅表面制造形状、位置和 功能可控的自组装微纳结构技术，分析了硅表面可控自组装微纳结构的形成机理，建 立了可控自组装微加工系统。为了获得较好的机械刻划表面，分别使用有限元仿真和 分子动力学仿真技术模拟和分析了金刚石刀具对单晶硅表面进行切削的过程，并针对 仿真结果，分析了刀具几何参数和切削参数对切削过程的影响，确定了很好刀具几何 参数和很优切削参数。同时，利用建立的微加工系统，在单晶硅表面制备了自组装微 纳结构，进行了微观的摩擦性能和黏附性能检测，从微观角度为硅表面的功能性微纳 结构在 MEMS/NEMS 中的应用提供了依据。

本书适合从事超精密加工技术、微纳制造技术研究的科研工作者、工程技术人员或高校教师、研究生、本科生阅读。