电商-前沿半导体系列(共二册,石墨烯+微缩图形化与下一代光刻技术)
作 者:(日)吾乡浩树,(日)斋藤理一郎 等 主编 编 于乐 等 译 译
定 价:208
出 版 社:机械工业出版社
出版日期:2026年01月01日
页 数:
装 帧:平装
ISBN:9787111798637
目录
●《石墨烯时代:二维材料新技术与应用》
《半导体微缩图形化与下一代光刻技术精讲》
内容介绍
《前沿半导体系列(石墨烯+微缩图形化与下一代光刻技术)(共二册)》由(日)吾乡浩树,(日)斋藤理一郎等主编
(日)吾乡浩树,(日)斋藤理一郎 等 主编 编 于乐 等 译 译
吾乡浩树,九州大学全球创新中心教授,主要从事二维材料相关研究,如关于大面积单晶石墨烯合成的研究,其研究团队开发出了一种新制造方法。
于乐,博士,副研究员,毕业于南京大学电子科学与工程学院电子科学与技术专业。曾就职于华润微电子有限公司和南京大学,主要从事半导体器件的工艺研究。目前在北京智慧能源研究院从事碳化硅外延技术相关工作。
李哲洋,博士生导师,研究员,教授级高级工程师。现任怀柔实验室北京智慧能源研究院资深技术专家。毕业于南京大学物理学院,获微电子与固体电子学博士学位,主要研究方向为宽禁带半导体材料与器件。曾先后就职于中国电子科技集团公司第五十五研究所、瀚天天成电子科技......