内容介绍

本书拟重点讲述气体和湿度传感器设计制作的基本原理、方法及其应用，从气体和湿度传感器的器件结构、材料、制作工艺等方面展开，分析介绍了典型传感器件和材料的表征技术与主要性能参数，并结合国内外前沿研究动态提出本领域的发展趋势。
全书将气体和湿度传感技术分为三个方面：基础原理(第1章~第3章)、器件分类(第4章~第9章)以及传感器微系统的应用(第10章)。本书首先阐述了气体和湿度传感器的基本概念，包括工作原理与结构、主要性能参数、机理研究方法等；结合前沿研究进展介绍了气体和湿度敏感材料的合成方法与表征技术，以及不同纳米结构的敏感效应；从表面加工工艺与体硅加工工艺两方面介绍了气体和湿度传感器的关键MEMS工艺；在此基础上分类介绍了多种气体传感器包括半导体原理、电化学原理、光学原理等以及湿度传感器，针对每种器件从基础原理、结构特点、工艺与性能参数等方面展开详细介绍；最后结合国防应用特点，列......