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书名:扫描电镜/能谱原理及特殊分析技术
定价:128.0
ISBN:9787122362346
作者:任小明,,编著
版次:第1版
出版时间:2020-06
内容提要:
作者简介:
任小明,湖北大学,副教授,博士,副高,曾在武汉市科技局挂职,现任湖北大学材料科学与工程学院测试中心主任。重点研究聚乙烯、环氧树脂等通用性聚合物材料合金及功能性高分子材料,主持或参与国家自然科学基金、国家863计划、湖北省教育厅青年人才项目以及多项企业委托项目,获得武汉市科技进步奖2项、授权中国发明专利5项,在Composite science and technology等SCI期刊发表学术论文10余篇,目前管理高分辨场发射扫描电子显微镜、X射线光电子能谱仪、X射线衍射仪等15台大型精密仪器。
目录:
上篇 扫描电镜/X射线能谱仪基本原理
第1章概述3
1.1 扫描电镜的产生和发展 3
1.2 扫描电镜的种类与特点 4
1.2.1 扫描隧道显微镜(STM) 5
1.2.2 双束扫描电镜(FIB) 6
1.2.3 环境扫描电镜(ESEM) 7
1.2.4 冷冻扫描电镜(Cryo-SEM) 8
1.2.5 扫描透射电镜(STEM) 9
1.3 扫描电镜的发展趋势 10
第2章扫描电镜的原理、结构及应用技术13
2.1 基础知识 13
2.1.1 分辨率 13
2.1.2 放大倍率 15
2.1.3 像差 17
2.1.4 电子束斑 24
2.2 电子束与物质的相互作用 26
2.2.1 散射 26
2.2.2 主要成像信号 28
2.3 扫描电镜的结构与工作原理 35
2.3.1 电镜的工作原理 35
2.3.2 扫描电镜的结构 37
2.3.3 图像衬度和成因 49
2.4 图像质量及主要影响因素 57
2.4.1 高质量图像特征点组成 57
2.4.2 图像质量影响因素——仪器参数 59
2.4.3 图像质量影响因素——操作技术 62
2.5 扫描电镜样品制备技术 66
第3章X射线能谱仪原理、结构及分析技术72
3.1 X射线的产生及应用 72
3.2 能谱仪结构及工作原理 78
3.3 能谱测试中的基本概念 82
3.3.1 几何位置 82
3.3.2 软件参数 85
3.3.3 仪器性能指标 87
3.4 能谱仪的分析特点 89
3.5 能谱仪定性和定量分析 91
3.5.1 定性分析 91
3.5.2 定量分析及校正方法 96
3.5.3 其他定量校正方法 104
3.6 能谱仪的分析方法 107
3.7 能谱分析的主要参数选择 111
3.7.1 加速电压的选择 111
3.7.2 特征X射线的选择 113
3.7.3 束流 114
3.8 能谱定量分析误差及探测限 115
3.8.1 误差来源 115
3.8.2 脉冲计数统计误差 117
3.8.3 探测限(CL) 118
下篇 特殊分析技术原理及应用
第4章低电压成像分析技术123
4.1 低电压扫描电镜技术突破 124
4.1.1 低电压成像技术的限制 124
4.1.2 低电压成像技术的突破 125
4.2 低电压成像技术的应用及原理 130
4.2.1 非导电材料上的成像应用 130
4.2.2 热敏材料上的成像应用 138
4.2.3 材料极表面区域的成像应用 142
第5章高空间分辨率能谱分析技术147
5.1 技术概述 147
5.2 低电压提高能谱空间分辨率技术 148
5.2.1 基本原理 148
5.2.2 低电压能谱分析特点 149
5.2.3 典型案例分析 154
5.3 薄片法提高能谱空间分辨率技术 160
5.3.1 基本原理 162
5.3.2 薄片法分析特点 164
5.3.3 经典应用案例分析 167
第6章荷电问题及其解决技术172
6.1 荷电现象描述 172
6.2 荷电效应的产生机理 172
6.3 荷电效应对图像质量的影响 175
6.4 荷电问题的解决技术及应用案例 175
6.4.1 多余电荷的及时消除 177
6.4.2 出入电流的动态平衡 181
6.4.3 荷电不敏感的成像信号或装置选择 186
第7章低真空成像分析技术194
7.1 低真空模式特点 194
7.2 低真空模式的硬件配备 195
7.3 低真空成像技术的应用 198
7.3.1 非导电样品的直接观察 198
7.3.2 生物样品的原生态观察 201
第8章高景深及立体成像分析技术203
8.1 技术概述 203
8.2 基本理论 204
8.3 图像景深的参数影响及应用案例 206
8.3.1 工作距离对图像景深的影响 206
8.3.2 物镜光阑对图像景深的影响 207
8.4 立体成像技术应用 208
第9章颗粒检测分析技术210
9.1 工作原理 210
9.2 制样方法 212
9.3 测试方法和过程 212
9.4 案例分析 213
第10章特殊样品的能谱分析技术221
10.1 轻重元素兼具样品的能谱分析技术 221
10.2 粗糙样品的定量分析技术 224
10.3 谱峰相近元素样品的能谱分析技术 226
10.4 纳米填充颗粒能谱分析技术 228
10.5 低真空条件下的能谱分析误差 232
参考文献 234
定价:128.0
ISBN:9787122362346
作者:任小明,,编著
版次:第1版
出版时间:2020-06
内容提要:
《扫描电镜/能谱原理及特殊分析技术》详细阐述了扫描电镜/X射线能谱仪基本原理和特殊分析技术原理及应用两部分内容,将扫描电镜和能谱仪在日常测试中所遇到的普遍问题和部分特殊分析技术需求从原理到测试技巧进行了全面的阐述。 本书可作为高等院校化学、化工、材料、生物类及相应专业的实验课参考教材,也可供从事相关研究的科技人员参考;既适合初学者入门,也能帮助具备一定经验者提高技能,是一本原理性和技术性强的专业参考书。
作者简介:
任小明,湖北大学,副教授,博士,副高,曾在武汉市科技局挂职,现任湖北大学材料科学与工程学院测试中心主任。重点研究聚乙烯、环氧树脂等通用性聚合物材料合金及功能性高分子材料,主持或参与国家自然科学基金、国家863计划、湖北省教育厅青年人才项目以及多项企业委托项目,获得武汉市科技进步奖2项、授权中国发明专利5项,在Composite science and technology等SCI期刊发表学术论文10余篇,目前管理高分辨场发射扫描电子显微镜、X射线光电子能谱仪、X射线衍射仪等15台大型精密仪器。
目录:
上篇 扫描电镜/X射线能谱仪基本原理
第1章概述3
1.1 扫描电镜的产生和发展 3
1.2 扫描电镜的种类与特点 4
1.2.1 扫描隧道显微镜(STM) 5
1.2.2 双束扫描电镜(FIB) 6
1.2.3 环境扫描电镜(ESEM) 7
1.2.4 冷冻扫描电镜(Cryo-SEM) 8
1.2.5 扫描透射电镜(STEM) 9
1.3 扫描电镜的发展趋势 10
第2章扫描电镜的原理、结构及应用技术13
2.1 基础知识 13
2.1.1 分辨率 13
2.1.2 放大倍率 15
2.1.3 像差 17
2.1.4 电子束斑 24
2.2 电子束与物质的相互作用 26
2.2.1 散射 26
2.2.2 主要成像信号 28
2.3 扫描电镜的结构与工作原理 35
2.3.1 电镜的工作原理 35
2.3.2 扫描电镜的结构 37
2.3.3 图像衬度和成因 49
2.4 图像质量及主要影响因素 57
2.4.1 高质量图像特征点组成 57
2.4.2 图像质量影响因素——仪器参数 59
2.4.3 图像质量影响因素——操作技术 62
2.5 扫描电镜样品制备技术 66
第3章X射线能谱仪原理、结构及分析技术72
3.1 X射线的产生及应用 72
3.2 能谱仪结构及工作原理 78
3.3 能谱测试中的基本概念 82
3.3.1 几何位置 82
3.3.2 软件参数 85
3.3.3 仪器性能指标 87
3.4 能谱仪的分析特点 89
3.5 能谱仪定性和定量分析 91
3.5.1 定性分析 91
3.5.2 定量分析及校正方法 96
3.5.3 其他定量校正方法 104
3.6 能谱仪的分析方法 107
3.7 能谱分析的主要参数选择 111
3.7.1 加速电压的选择 111
3.7.2 特征X射线的选择 113
3.7.3 束流 114
3.8 能谱定量分析误差及探测限 115
3.8.1 误差来源 115
3.8.2 脉冲计数统计误差 117
3.8.3 探测限(CL) 118
下篇 特殊分析技术原理及应用
第4章低电压成像分析技术123
4.1 低电压扫描电镜技术突破 124
4.1.1 低电压成像技术的限制 124
4.1.2 低电压成像技术的突破 125
4.2 低电压成像技术的应用及原理 130
4.2.1 非导电材料上的成像应用 130
4.2.2 热敏材料上的成像应用 138
4.2.3 材料极表面区域的成像应用 142
第5章高空间分辨率能谱分析技术147
5.1 技术概述 147
5.2 低电压提高能谱空间分辨率技术 148
5.2.1 基本原理 148
5.2.2 低电压能谱分析特点 149
5.2.3 典型案例分析 154
5.3 薄片法提高能谱空间分辨率技术 160
5.3.1 基本原理 162
5.3.2 薄片法分析特点 164
5.3.3 经典应用案例分析 167
第6章荷电问题及其解决技术172
6.1 荷电现象描述 172
6.2 荷电效应的产生机理 172
6.3 荷电效应对图像质量的影响 175
6.4 荷电问题的解决技术及应用案例 175
6.4.1 多余电荷的及时消除 177
6.4.2 出入电流的动态平衡 181
6.4.3 荷电不敏感的成像信号或装置选择 186
第7章低真空成像分析技术194
7.1 低真空模式特点 194
7.2 低真空模式的硬件配备 195
7.3 低真空成像技术的应用 198
7.3.1 非导电样品的直接观察 198
7.3.2 生物样品的原生态观察 201
第8章高景深及立体成像分析技术203
8.1 技术概述 203
8.2 基本理论 204
8.3 图像景深的参数影响及应用案例 206
8.3.1 工作距离对图像景深的影响 206
8.3.2 物镜光阑对图像景深的影响 207
8.4 立体成像技术应用 208
第9章颗粒检测分析技术210
9.1 工作原理 210
9.2 制样方法 212
9.3 测试方法和过程 212
9.4 案例分析 213
第10章特殊样品的能谱分析技术221
10.1 轻重元素兼具样品的能谱分析技术 221
10.2 粗糙样品的定量分析技术 224
10.3 谱峰相近元素样品的能谱分析技术 226
10.4 纳米填充颗粒能谱分析技术 228
10.5 低真空条件下的能谱分析误差 232
参考文献 234
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