书名：新型共路干涉仪  
ISBN：9787308185714  
作者：杨甬英  

内容提要：  
作者全面介绍了目前在国内外高科技领域应用的横向及径向剪切干涉仪、点衍射干涉仪、双焦干涉仪、米勒干涉仪、各种波前干涉传感器等各种新型共路干涉仪干涉理论，并着重介绍在大规模集成电路光刻物镜波前检测中的各种丰富的共路干涉仪的光学系统及波前解调技术。本书可作为适合于国内外从事光学工程的科技人员、高校师生参考用书。  



作者简介：  
杨甬英，浙江大学光电系教授、博士生导师。现为先进光学制造与测试专委会理事、中国计量测试专业委员会常务委员、中国光学学会光学测试专委会委员。近年来作为项目负责人承担了多项国家自然科学基金、国防973、国家863配套等项目，作为主要作者发表科研论文100余篇。国家发明专利十余项。主要从事光电信息传感与精密测试技术方面的科研工作。  

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