《半導體製程概論(第五版)》

作者：李克駿，李克慧，李明逵

出版社：全華圖書

出版日期：2023/06/09

語言：繁體中文

ISBN：9786263284579

叢書系列：大專電子

規格：平裝 / 408頁 / 19 x 26 x 2.04 cm / 普通級 / 單色印刷 / 五版

出版地：中國台灣

本書分類：電機資訊類> 電子

（页面信息仅供参考，具体以实物为准）

內容簡介

全書分為五篇，第一篇(1～3章)探討半導體材料之基本特性，從矽半導體晶體結構開始，到半導體物理之物理概念與能帶做完整的解說。第二篇(4～9章)說明積體電路使用的基礎元件與先進奈米元件。第三篇(10～24章)說明積體電路的製程。第四篇(25～26章)說明積體電路的故障與檢測。第五篇(27～28章)說明積體電路製程潔淨控制與安全。

本書特色

1.深入淺出說明半導體元件物理和積體電路結構、原理及製程。

2.從矽導體之物理概念開始，一直到半導體結構、能帶作完整的解說，使讀者學習到全盤知識。

3.圖片清晰，使讀者一目瞭然更容易理解。

4.適用於大學、科大電子、電機系「半導體製程」或「半導體製程技術」課程或相關業界人士及有興趣之讀者。