内容介绍
全书共分8章,主要内容有:真空材料的表面净化处理、真空材料的除气、真空系统的检测技术、真空系统内残余气体的分析与测量、真空系统的操作与维护、真空工程用焊接技术、真空工程封接技术、真空器件的电击穿及预防措施。本书集基础理论和实践应用技术于一体,理论与工程实践有机结合,适合于真空技术、薄膜与表面工程、材料工程、低温工程、应用物理、机械设计等行业从事研究、设计、设备操作与维护的技术人员,也适用于进行与真空技术相关的科学研究及实验的技术人员和学生,还可作为大专院校相关专业师生的教材及参考书。
真空工艺与实验技术
目录
●1真空材料的表面净化处理
1.1材料表面的污染与净化
1.1.1材料表面常见的污染形式
1.1.2材料表面净化
1.2表面净化处理的基本方法
1.2.1溶剂清洗
1.2.2电化学清洗处理
1.2.3加热和辐照清洗
1.2.4气体加热还原分解净化表面
1.2.5放电清洗
1.2.6剥去覆盖涂层清洗
1.2.7气体冲洗
1.3清洗的基本程序
1.3.1污染物的确定
1.3.2清洗方法的确定
1.3.3清洗溶剂的选择
1.3.4清洗程序及注意事项
1.4非金属材料的清洗
1.4.1玻璃陶瓷的清洗
1.4.2塑料与橡胶的清洗
1.5清洁零件的存放
……
内容介绍
全书共分8章,主要内容有:真空材料的表面净化处理、真空材料的除气、真空系统的检测技术、真空系统内残余气体的分析与测量、真空系统的操作与维护、真空工程用焊接技术、真空工程封接技术、真空器件的电击穿及预防措施。本书集基础理论和实践应用技术于一体,理论与工程实践有机结合,适合于真空技术、薄膜与表面工程、材料工程、低温工程、应用物理、机械设计等行业从事研究、设计、设备操作与维护的技术人员,也适用于进行与真空技术相关的科学研究及实验的技术人员和学生,还可作为大专院校相关专业师生的教材及参考书。
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