内容介绍

徐泰然、梁仁荣、刘立滨编著的《MEMS与微系统--设计制造及纳尺度工程第2版》从工程设计的角度讲解微机电系统，并同时从电子与机械两个层面介绍相关的技术。作者对本书靠前版进行了细致的修订，并额外增加了全新的一章来介绍纳尺度工程。本书首先对纳米技术的发展历史做了一个简要的回顾，然后对各种纳米结构在工程设计方面的基本原理做了详细的介绍，包括形成纳米结构的制造技术、基于分子动力学的工程设计原理以及纳尺度材料中的流体流动与热传导特性等。本书可作为高校微电子、集成电路设计与集成系统等专业本科生和研究生相应课程的教科书或参考书，对于机械工程或电气工程专业的高年级本科生具有很好重要的参考价值，同时可供与集成电路制造技术有关的专业技术人员学习参考。