书名：微纳制造与微机电系统
定价：82.0
ISBN：9787030793584
作者：李经民
版次：1
出版时间：2024-08

内容提要：
本教材包含编者所在研究团队近几年在微机电系统领域的…新科研成果，具体内容包括：微机电系统（MEMS）原理、微制造工艺、微传感器/微执行器原理以及微机电系统应用等专业知识，旨在提升机械工程专业和仪器科学与技术学科专业的研究生的微机电系统基础知识、了解国内外…新微纳米制造技术和典型器件的应用，培养学生掌握MEMS方面的应用能力。本教材注重理论与实践相结合，通过具体工艺实例来加深读者对理论的理解；突出"教材"定位，结合工艺、器件实例，引导学生建立解决实际问题的工程思路。



作者简介：
大连理工大学机械工程学院教授、副院长.授课：机械工程导论、微制造与微机械电子系统、基础科研技能、科技综合技能。